日本雅马拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C洁净厌氧高温气氛炉简介：
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
1.最高工作温度360℃和500℃。
2.采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
3.高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。
4.磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
5.可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
6.标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。
安全性
1.门检测开关
2.温度过升防止器
3.氧浓度异常安全装置
4.氮气压力检测
5.氮气流量检测
6.冷却水流量检测
7.漏水传感器
8.过电流漏电漏电保护开关
日本雅马拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C洁净厌氧高温气氛炉技术参数：
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型号
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DTN430C
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DTN630C
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DTN450C
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DTN650C
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方式
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氮气置换 +强制送风循环
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性能
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使用温度范围
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室温+50～360℃
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室温+50～500℃
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温度调节精度
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±0.5℃（at360℃）
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±1.0℃（at500℃）
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温度分布精度
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±5.0℃（at360℃）
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±8.0℃（at500℃）
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最高温度到达时间
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约80分
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约 110分
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氧浓度
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20ppm以下
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氧浓度到达时间
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≤20分（250L/min氮气）
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≤25分（250L/min氮气
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）≤ 20 分（250L/min氮气）
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≤25分（250L/min氮气）
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洁净度
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温度恒定时 100级
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构成
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内装
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不锈钢板
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外装
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冷轧钢板，表面耐药品性涂装
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断热材
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硅酸铝棉
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加热方式
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不锈钢加热管
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合金加热丝
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加热功率
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主加热器
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6.75KW
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9KW
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9.5KW
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14.2KW
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N2预热
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1KW
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冷却机构
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不锈钢冷却水换热器
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HEPA过滤器
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集尘效率：0.3um 粒子 99.97%以上
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控制器
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温度控制方式
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PID控制
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温度控制器
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液晶触摸屏+PLC
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运行功能
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手动定值运行、自动程序运行
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程序模式
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程序运行 9 个，每个程序可设置 9步（可扩展）
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附加功能
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操作员等级认证
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加热器回路控制
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SSR驱动
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传感器
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K型热电偶（温度控制及过升防止器）
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安全装置
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门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2流量检测、
风机过载检测、过电流漏电保护开关等
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规格
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内尺寸（宽×深×高mm）
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450×450×450
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660×500×660
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450×450×450
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660×500×660
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外形尺寸（宽×深×高mm）
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1090×950×1540
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1300×1000×1750
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1240×1010×1750
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1450×1060×1960
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内容积
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91L
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216L
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91L
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216L
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棚板层数 /层间距
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12 层/30mm
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19 层/30mm
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12 层/30mm
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19 层/30mm
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排气口
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40KF法兰
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氮气入口
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Rc1/2
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冷却水入口
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Rc3/4
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热水出口
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Rc3/4，2个
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电源（50/60Hz）额定电流
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3相AC380V 16A
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3相AC380V 19A
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3相AC380V 20A
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3相AC380V 27A
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重量
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约900kg
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约1100kg
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约900kg
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约1100kg
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选购品
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棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机 / 运行 /故障）、以太网通信功能
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